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Les entretoises (spacers) sont les protections placées entre les wafers pour protéger leurs faces des rayures et de la contamination de particules. Ils sont fabriqués avec des matériaux de très haute pureté offrant des performances extrêmes contre la contamination des particules et les risques de dégazage. Tous les modèles ont un profil ondulé et sont compatibles avec des wafers et des wafers sur cadres de 4 ", 5", 6 ", 8" et 12 ".

Modèles PEA: antistatique: 350 μm d'épaisseur, résistivité de surface <1 * 10E + 12 Ω

Modèles CPS:conducteur: 250 μm d'épaisseur, résistivité de surface <1 * 10E + 9 Ω

Les anneaux (rings) sont également des protections placées entre les wafers, mais rigides, permettant de limiter les contacts à la surface des wafers. Le système garantit la protection du wafers et ne diminue pas la capacité du canister. Ils sont particulièrement conseillés pour des wafers avec Bumps et des Wafers CMOS.

  • Nom du produit: Protos Spacers Type PEA
  • Tailles: WSR-200 (8 ") et WSR-300 (12")
  • Matériel: PP conducteur
  • Résistance: <1 * 10E + 5 Ω
  • Faible niveau de particules et faible contamination ionique
  • Semiconducteurs, solaire et électronique

PEA models: antistatic

Part Name Protos Spacer PEA Type
Part Number PEA-4-350
PEA-5-350 PEA-5-350
PEA-6-350 PEA-6-350
PEA-8-350 PEA-8-350
PEA-12-350 PEA-12-350
Feature This is new type antistatic spacer with low particle counts
and low ion contamination. and low ion contamination.
Surface Surface
Resistance < 1.0 x 1012Ω
Standard Sheet thickness: 100um, with height of emboss 350um
Material Anti-static Polyethylene

CPS models: conductive

Part Name Protos Spacer CPS Type
Part Number CPS-4-250
CPS-5-250 CPS-5-250
CPS-6-250 CPS-6-250
CPS-8-250 CPS-8-250
CPS-12-250 CPS-12-250
Feature This is new type conductive spacer with low particle counts and low ion contamination.
Surface Surface
Resistance < 1.0 x 109Ω
Standard Sheet thickness: 100um, with height of emboss 250mm
Material Conductive Polyethylene
AchillesAchille fabrique des systèmes de manutention pour wafer conçus avec des matériaux de haute pureté pour un transport sécurisé des wafers.
[Achilles, Protos spacers, Ring spacers]