PANalytical- Hệ thống Nhiễu xạ tia X-X'Pert³ (MRD) trong nghiên cứu vật liệu

Bộ đo góc: kích thước bước đo	Tối thiểu 0.0001˚
Bộ đo góc: bán kính	Bán kính: X'Pert³ MRD 320 mm (ngang); Bán kính: X'Pert³ MRD XL 420 mm (ngang)
Open Eulerian Cradle- Chi Rotation	+/- 92˚
Open Eulerian Cradle- Phi Rotation	2 x 360˚
Open Eulerian Cradle- x,y translation	100 x 100 mm (X’Pert³ MRD); 200 x 200 mm (X’Pert³ MRD XL)
Open Eulerian Cradle- z translation	Tối thiểu 1 µm
C-to-C Wafer Loaders- Size	2” to 150 mm; 100 to 300 mm

Bộ đo góc: kích thước bước đo

Tối thiểu 0.0001˚

Bộ đo góc: bán kính

Bán kính: X'Pert³ MRD 320 mm (ngang); Bán kính: X'Pert³ MRD XL 420 mm (ngang)

Open Eulerian Cradle- Chi Rotation

+/- 92˚

Open Eulerian Cradle- Phi Rotation

2 x 360˚

Open Eulerian Cradle- x,y translation

100 x 100 mm (X’Pert³ MRD); 200 x 200 mm (X’Pert³ MRD XL)

Open Eulerian Cradle- z translation

Tối thiểu 1 µm

C-to-C Wafer Loaders- Size

2” to 150 mm; 100 to 300 mm

Các model cung cấp

PANalytical X’Pert³ MRD

Đặc tính kỹ thuật
Bộ đo góc – bước đo	Bước đo tối thiểu 0.0001˚
Bộ đo góc – Bán kính	Bán kính: X’Pert³ MRD 320 mm (ngang); Bán kính: X’Pert³ MRD XL 420 mm (ngang)
Open Eulerian Cradle- Chi Rotation	+/- 92˚
Open Eulerian Cradle- Phi Rotation	2 x 360˚
Open Eulerian Cradle- x,y translation	100 x 100 mm (X’Pert³ MRD); 200 x 200 mm (X’Pert³ MRD XL)
Open Eulerian Cradle- z translation	minimum step size 1 µm
C-to-C Wafer Loaders- Size	2” to 150 mm; 100 to 300 mm

Phiên bản tiêu chuẩn nghiên cứu và phát triển để sử dụng với các mẫu màng mỏng, tấm mỏng (bản đồ hoàn chỉnh lên đến 100 mm) và vật liệu rắn. Khả năng phân tích độ phân giải cao được cải thiện nhờ tính chính xác nổi bật của máy đo góc độ cao mới có độ phân giải cao sử dụng bộ mã hóa Heidenhain.

Xem thêm trên website đối tác của chúng tôi

PANalytical X'Pert³ MRD (XL)

Đặc tính kỹ thuật
Bộ đo góc – bước đo	Bước đo nhỏ nhất 0.0001˚
Bộ đo góc – Bán kính	Bán kính: X’Pert³ MRD 320 mm (ngang); Radius: X’Pert³ MRD XL 420 mm (horizontal)
Open Eulerian Cradle- Chi Rotation	+/- 92˚
Open Eulerian Cradle- Phi Rotation	2 x 360˚
Open Eulerian Cradle- x,y translation	100 x 100 mm (X’Pert³ MRD); 200 x 200 mm (X’Pert³ MRD XL)
Open Eulerian Cradle- z translation	minimum step size 1 µm
C-to-C Wafer Loaders- Size	2” to 150 mm; 100 to 300 mm

X'Pert³ MRR XL đáp ứng tất cả các yêu cầu phân tích XRD có độ phân giải cao của chất bán dẫn, màng mỏng và các ngành công nghiệp vật liệu tiên tiến. Hoàn thiện bản đồ wafer lên đến 200 mm. Phiên bản X'Pert3 đi kèm với thời gian dài nhất của các thành phần chùm tia (CRISP) và thời gian hoạt động tối đa với cửa chớp khí nén và chùm tia giảm. Bằng cách tạo điều kiện thuận lợi cho việc phân tích đường kính có đường kính lên tới 300 mm, với một bộ chọn máy xay xát tinh vi, X'Pert³ MRD XL trở thành công cụ tiên tiến để kiểm soát chất lượng các cấu trúc lớp mỏng công nghiệp.

Xem thêm trên website đối tác của chúng tôi

PANalytical X'Pert³ Extended MRD (XL)

Đặc tính kỹ thuật
Kích thước – Thân máy chính	1400 (w) x 1162 (d) x 1947 (h) mm
Trọng lượng – Thân máy chính	1150 kg
Enclosure- Khả năng tiếp cận	Cửa lớn, cho phép truy cập tới bốn người cùng một lúc
Enclosure- Độ an toàn	Đáp ứng mọi quy định trên toàn thế giới về an toàn điện, cơ và tia X với tất cả các loại anode
Enclosure- Cài đặt	Hệ thống trên bánh xe để dễ dàng lắp đặt và di chuyển
Bộ đo góc – cấu hình	Bộ đo góc thẳng đứng, available in theta-theta or alpha-1 geometry
Bộ đo góc- bán kính và giao diện	Bán kính 240 mm, có sẵn các giao diện để giảm bán kính chùm nhiễu xạ cho các ứng dụng cụ thể
Bộ đo góc- Dải đo	Dải sử dụng tối đa (phụ thuộc vào phụ kiện) -111°< 2θ <168°
Bộ đo góc – dải tuyến tính	2θ tuyến tính bằng hoặc tốt hơn ±0.01°
Goniometer- Accuracy and Precision	Hệ thống mã hóa trực tiếp trực tiếp thế hệ mới (DOPS 2) cho độ chính xác thời gian sống trơn, sử dụng các bộ mã hóa Heidenhain được định hướng chính xác và công nghệ theo dõi đường dẫn
X-Ray Source- X-Ray Tube	Các ống tia X bằng gốm được sản xuất bởi nhà máy chuyên dụng của PANalytical trong điều kiện phòng sạch
X-Ray Source- Generator	Nguồn phát 4 kW hỗ trợ tất cả các ống tia X hiện tại và tương lai
X-Ray Source- Performance	Tất cả các thiết bị của Empyrean được thiết kế cho hoạt động 60 kV, cho phép hoạt động tối ưu cho các nguồn Mo và Ag

Hệ thống MRR mở rộng X'Pert³ (XL) mang lại tính linh hoạt cao với phạm vi của các hệ thống MRD X'Pert³. Một nền tảng gắn kết PreFIX bổ sung cho phép gắn một gương phản xạ tia X và một bộ xử lý đơn sắc độ phân giải cao trong dòng, làm tăng đáng kể cường độ của chùm sáng. Người ta có thể thu được lợi ích từ tính linh hoạt của ứng dụng mà không ảnh hưởng đến chất lượng dữ liệu, nhiễu xạ tia X có độ phân giải cao với cường độ cao, thời gian đo ngắn hơn cho các phép đo như lập bản đồ không gian lẫn nhau và xây dựng lại từ tiêu chuẩn đến cấu hình mở rộng trong vài phút nhờ vào khái niệm PreFIX. Với PreFIX thế hệ thứ 2, việc cấu hình lại dễ dàng và định vị quang học chính xác hơn bao giờ hết.

Xem thêm trên website đối tác của chúng tôi

PANalytical X'Pert³ MRD (XL) In-plane

Đặc tính kỹ thuật
Kích thước – Thân máy chính	1400 (w) x 1162 (d) x 1947 (h) mm
Trọng lượng – Thân máy chính	1150 kg
Enclosure- Khả năng tiếp cận	Cửa lớn, cho phép truy cập tới bốn người cùng một lúc
Enclosure- Độ an toàn	Đáp ứng mọi quy định trên toàn thế giới về an toàn điện, cơ và tia X với tất cả các loại anode
Enclosure- Cài đặt	Hệ thống trên bánh xe để dễ dàng lắp đặt và di chuyển
Bộ đo góc – cấu hình	Bộ đo góc thẳng đứng, available in theta-theta or alpha-1 geometry
Bộ đo góc- bán kính và giao diện	Bán kính 240 mm, có sẵn các giao diện để giảm bán kính chùm nhiễu xạ cho các ứng dụng cụ thể
Bộ đo góc- Dải đo	Dải sử dụng tối đa (phụ thuộc vào phụ kiện) -111°< 2θ <168°
Bộ đo góc – dải tuyến tính	2θ tuyến tính bằng hoặc tốt hơn ±0.01°
Goniometer- Accuracy and Precision	Hệ thống mã hóa trực tiếp trực tiếp thế hệ mới (DOPS 2) cho độ chính xác thời gian sống trơn, sử dụng các bộ mã hóa Heidenhain được định hướng chính xác và công nghệ theo dõi đường dẫn

X-Ray Source- X-Ray Tube	Các ống tia X bằng gốm được sản xuất bởi nhà máy chuyên dụng của PANalytical trong điều kiện phòng sạch
X-Ray Source- Generator	Nguồn phát 4 kW hỗ trợ tất cả các ống tia X hiện tại và tương lai
X-Ray Source- Performance	Tất cả các thiết bị của Empyrean được thiết kế cho hoạt động 60 kV, cho phép hoạt động tối ưu cho các nguồn Mo và Ag

Với hệ thống X'Pert³ MRD (XL) cho sự nhiễu xạ trên mặt phẳng, có thể đo nhiễu xạ từ các mặt phẳng lattice vuông góc với bề mặt mẫu.
Các cấu trúc quang học tiêu chuẩn và trong mặt phẳng trên một hệ thống và một loạt các thí nghiệm nhiễu xạ trên các màng mỏng đa tinh thể và rất hoàn hảo chỉ là hai trong số rất nhiều lợi ích.