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350FG为穆尔纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems)生产的超精密3、4或5轴CNC超精密自由曲面机床,可用于轴对称非球面和螺旋表面车削加工,并可使用慢刀伺服技术(旋转式)进行自由曲面加工,使用栅式飞刀技术进行自由曲面、衍射面以及光学棱体结构的加工。

20121203_350FG

产品简介

350FG为穆尔纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems)生产的超精密3、4或5轴CNC超精密自由曲面机床,可用于轴对称非球面和螺旋表面车削加工,并可使用慢刀伺服技术(旋转式)进行自由曲面加工,使用栅式飞刀技术进行自由曲面、衍射面以及光学棱体结构的加工。

机床特性

  • PC 兼容CNC运动控制器以及Windows操作系统,编程分辨率0.01纳米 (0.0004u”)

  • 绝热型线性刻度反馈系统,分辨率34皮米 (0.034nm)

  • 可对自由曲面、衍射面和光学棱镜结构进行栅式飞刀或磨削加工

  • 加工离轴和环状元件时可将加工能力扩展至直径20’’ (500mm)

  • 箱式油静压轴承滑轨,Z轴行程(300mm),X轴行程(350mm),Y轴垂直行程(150mm),以及安装于垂直轴用于优化伺服性能的空气轴承自适应平衡器

  • Y轴双线性电机

  • 独有的10,000 rpm转速“重型”PI空气轴承主轴 (配有液体冷却系统),嵌入Y轴托架以增强外圈刚性,减少阿贝误差,并保持对称

  • 选配项包括:静压旋转工作台B轴,主轴内置C轴任意定位控制,微磨削以及微铣磨附件,快刀伺服系统,装调用光学工具,喷雾式制冷系统,真空卡盘,高度微调刀座,NanoCAM 2D非球面元件编程软件以及机床在线测量和误差补偿系统(WECS),温控系统

技术参数

主机

描述

主轴加工能力

直径500mm X 长300mm

基本架构

整体式复合大理石-整合有冷却槽

隔振装置

优化的三点被动式空气隔振系统,可选配自水平减振空气隔振系统

控制系统

Delta Tau系统

主轴

标准指标

类型

独家专有PI带有中心推力平板的径向沟槽补偿空气轴承

液体冷却 (选项)

封闭的环绕式致冷系统

转速范围

50 至10,000 rpm, 双向转动

承载能力(径向)

70Kg,100 psi. / 85Kg,145 psi.

轴向刚性

228 N/um,100 psi / 260 N/um,145 psi

径向刚性 (顶部)

98 N/um, 100 psi / 140 N/um,145 psi

驱动系统

Frameless, Brushless DC motor

运动精度

轴向: 小于等于 12.5 纳米 径向: 小于等于 12.5 纳米

线性轴

X

Z

Y (Vertical) – Option 选配(垂直)

类型

全约束式油静压,箱式滑块

全约束式油静压,箱式滑块

全约束式油静压,箱式滑块,并配置空气轴承适应控制器,用于平衡重力和装载变化量

行程

350mm

300mm

150mm

驱动系统

Brushless DC Linear Motor

Brushless DC Linear Motor

Brushless DC Linear Motor

反馈类型

激光全息线性刻度尺(绝热安装)

激光全息线性刻度尺(绝热安装)

激光全息线性刻度尺(绝热安装)

反馈速度(最大)

4500mm/min

4500mm/min

1500mm/min

直线度

全程0.3µm

全程0.3µm

全程0.5µm/100mm中心处0.3µm

静压油供给

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

选配旋转轴

B

C

类型

空气轴承沟槽补偿(全约束)

空气轴承沟槽补偿(液体冷却)

行程

360° (双向)

360° (双向)

驱动系统

Brushless DC motor

Brushless DC motor

轴向刚性

875 N/µm

详见上述主轴指标

径向刚性(顶部)

260 N/µm

详见上述主轴指标

定位精度

± 1.0 弧秒

± 1.0 弧秒/ 静态

反馈分辨率

0.02 弧秒

0.07 弧秒

最大速度(定位模式)

50 rpm

3,000 rpm

运动精度

轴向: ≤ 0.1µm 径向: ≤ 0.1µm

轴向: ≤ 12.5纳米 径向: ≤ 12.5纳米

尺寸和重量(包括机床外壳,但不包括计算机以及控制器机柜等外围设备)

尺寸

1.72m 宽 x 1.73m 长 x 1.84m 高

1.72m 宽 x 1.73m 长 x 1.84m 高

重量

3,180 Kg

3,180 Kg

注: 上述指标因产品和技术的持续发展而发生改变时,恕不能及时另行通知。

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穆尔集团纳米技术公司 Moore Nanotechnology Systems, LLC穆尔工具集团下属的纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems, LLC)成立于1997年。公司致力于研究和生产超精密机床系统,包括单点金刚石车床和微磨削/铣削机床,主要应用于民用光学、国防、医疗、眼科、电子以及微纳米工程等领域。可加工材料包括非铁质材料、陶瓷、光学玻璃、高分子材料以及晶体,可加工轴对称及非轴对称自由曲面面形,并拥有先进的快慢刀技术和栅式加工技术。
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