350FG为穆尔纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems)生产的超精密3、4或5轴CNC超精密自由曲面机床,可用于轴对称非球面和螺旋表面车削加工,并可使用慢刀伺服技术(旋转式)进行自由曲面加工,使用栅式飞刀技术进行自由曲面、衍射面以及光学棱体结构的加工。
350FG为穆尔纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems)生产的超精密3、4或5轴CNC超精密自由曲面机床,可用于轴对称非球面和螺旋表面车削加工,并可使用慢刀伺服技术(旋转式)进行自由曲面加工,使用栅式飞刀技术进行自由曲面、衍射面以及光学棱体结构的加工。
PC 兼容CNC运动控制器以及Windows操作系统,编程分辨率0.01纳米 (0.0004u”)
绝热型线性刻度反馈系统,分辨率34皮米 (0.034nm)
可对自由曲面、衍射面和光学棱镜结构进行栅式飞刀或磨削加工
加工离轴和环状元件时可将加工能力扩展至直径20’’ (500mm)
箱式油静压轴承滑轨,Z轴行程(300mm),X轴行程(350mm),Y轴垂直行程(150mm),以及安装于垂直轴用于优化伺服性能的空气轴承自适应平衡器
Y轴双线性电机
独有的10,000 rpm转速“重型”PI空气轴承主轴 (配有液体冷却系统),嵌入Y轴托架以增强外圈刚性,减少阿贝误差,并保持对称
选配项包括:静压旋转工作台B轴,主轴内置C轴任意定位控制,微磨削以及微铣磨附件,快刀伺服系统,装调用光学工具,喷雾式制冷系统,真空卡盘,高度微调刀座,NanoCAM 2D非球面元件编程软件以及机床在线测量和误差补偿系统(WECS),温控系统
主机 | 描述 |
---|---|
主轴加工能力 | 直径500mm X 长300mm |
基本架构 | 整体式复合大理石-整合有冷却槽 |
隔振装置 | 优化的三点被动式空气隔振系统,可选配自水平减振空气隔振系统 |
控制系统 | Delta Tau系统 |
主轴 | 标准指标 |
类型 | 独家专有PI带有中心推力平板的径向沟槽补偿空气轴承 |
液体冷却 (选项) | 封闭的环绕式致冷系统 |
转速范围 | 50 至10,000 rpm, 双向转动 |
承载能力(径向) | 70Kg,100 psi. / 85Kg,145 psi. |
轴向刚性 | 228 N/um,100 psi / 260 N/um,145 psi |
径向刚性 (顶部) | 98 N/um, 100 psi / 140 N/um,145 psi |
驱动系统 | Frameless, Brushless DC motor |
运动精度 | 轴向: 小于等于 12.5 纳米 |
线性轴 | X | Z | Y (Vertical) – Option 选配(垂直) |
---|---|---|---|
类型 | 全约束式油静压,箱式滑块 | 全约束式油静压,箱式滑块 | 全约束式油静压,箱式滑块,并配置空气轴承适应控制器,用于平衡重力和装载变化量 |
行程 | 350mm | 300mm | 150mm |
驱动系统 | Brushless DC Linear Motor | Brushless DC Linear Motor | Brushless DC Linear Motor |
反馈类型 | 激光全息线性刻度尺(绝热安装) | 激光全息线性刻度尺 | 激光全息线性刻度尺 |
反馈速度(最大) | 4500mm/min | 4500mm/min | 1500mm/min |
直线度 | 全程0.3µm | 全程0.3µm | 全程0.5µm/100mm中心处0.3µm |
静压油供给 | 紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置 | 紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置 | 紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置 |
选配旋转轴 | B | C |
---|---|---|
类型 | 空气轴承沟槽补偿(全约束) | 空气轴承沟槽补偿(液体冷却) |
行程 | 360° (双向) | 360° (双向) |
驱动系统 | Brushless DC motor | Brushless DC motor |
轴向刚性 | 875 N/µm | 详见上述主轴指标 |
径向刚性(顶部) | 260 N/µm | 详见上述主轴指标 |
定位精度 | ± 1.0 弧秒 | ± 1.0 弧秒/ 静态 |
反馈分辨率 | 0.02 弧秒 | 0.07 弧秒 |
最大速度(定位模式) | 50 rpm | 3,000 rpm |
运动精度 | 轴向: ≤ 0.1µm 径向: ≤ 0.1µm | 轴向: ≤ 12.5纳米 径向: ≤ 12.5纳米 |
尺寸和重量(包括机床外壳,但不包括计算机以及控制器机柜等外围设备) | ||
尺寸 | 1.72m 宽 x 1.73m 长 x 1.84m 高 | 1.72m 宽 x 1.73m 长 x 1.84m 高 |
重量 | 3,180 Kg | 3,180 Kg |
注: 上述指标因产品和技术的持续发展而发生改变时,恕不能及时另行通知。
电话:+852 2880 9808
传真:+852 2369 1042
邮箱:shtphk@dksh.com
电话:021-5383 8811
传真:021-3367 8466
邮箱:tech.cn@dksh.com
电话:020-8132 0662
传真:020-8132 0663
邮箱:tech.cn@dksh.com
电话:010-6561 3988
传真:010-6561 0278
邮箱:tech.cn@dksh.com
电话:028-8676 1111
传真:028-8676 1122
邮箱:tech.cn@dksh.com
电话:029-8833 7412
传真:029-8833 7415
邮箱:tech.cn@dksh.com