ベルネックスCVI (Chemical Vapor Infiltration) システムは、炭素繊維やケイ素材料等のポーラスな素材の内部にコーティングする装置で、ファイバー強化素材(FRC) を製造します。
CVIシステムはSiC, BN, パイロリテックカーボンのような素材に耐高温性のコーティングをするために設計された装置です。航空機、自動車、メディカル等の工業素材に応用されます
装置は1~200mbarの圧力で900~1,600℃の温度の成膜プロセスでコーティングできる設計となっています。