Thermo Electric Chiller(ペルチェ方式)
プロセス液温を常にモニタリング&温度調整(ダイナミック方式)
0.1度単位の温度管理精度
チャック温度を一定化することによりウエハー間、ロット間のバラつきを低減
省スペース: 外寸 W 116 x D 232 x H 500 mm
軽量: 重さ 15 kg
保守メンテナンス作業を低減(MTBF 5年以上)
各エッチング装置メーカー様での参照あり
全世界で10,000台以上の納入実績
150 - 300 mm ウエハー向けドライエッチングプロセス
冷却能力
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1200W @ 20C
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設定温度範囲
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-20 ~ 90℃
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装置寸法
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W116 x D 232 x H470 mm
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重量
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15 kg
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冷却能力
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2400W @ 20C
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設定温度範囲
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-20 ~ 90℃
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装置寸法
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W116 x D 300 x H560 mm
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重量
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25 kg
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冷却能力
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4400W @ 20C
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設定温度範囲
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-20 ~ 90℃
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装置寸法
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W194 x D 300 x H560 mm
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重量
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38 kg
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