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TTV、各貼り合わせ基盤の厚み、成膜層の膜厚、高アスペクト比 TSV、表面粗さ計測 など、測定目的に合わせて各種センサーを準備しております。
薄膜化プロセスでのシリコン・基板膜厚測定(RST)
TTV,Bow,Warp
高アスペクト比TSV 計測
表面粗さ計測
バンプコプラナリティー検査
ウエハーアライメント検査
ウエハー非接触表面粗さ計測