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L-TRIS社製ウエハートリム加工装置は、デバイス上のラダーデジタルトリム、また抵抗値を計測しながらのオンライントリムへ最適なソリューションをご提案いたします。

特長

  • ウエハーレベルでの高精度、高速トリム機能 ž
  • IR帯域レーザー波長、レーザー径6.5um、パルス幅 7ns / 50ns が選択可能 ž
  • レーザートリマー、プローブシステム、抵抗値計測の一貫したシステム構成 ž
  • プローブビジョン、モーションコントロールによる高精度位置管理機能
L-TRIS GmbHL-TRIS社はドイツ・ミュンヘン近郊クライリング市にてレーザー微細加工装置の専門メーカーとして創業しました。各レーザー光源メーカーとの協業と独自開発技術により全世界で2,000台以上の納入実績があります。米国ESI社よりウエハートリム装置、レーザートリム装置の事業移管を受け、製造・保守サービスを担っています。量産機でのデモルームを保有し、サンプルテストおよびアプリケーション開発を行うことができます。
[ウエハートリム, ウエハートリマー, レーザートリム, レーザートリマー, レーザートリミング]