เครื่อง Epsilon 5 เป็นเครื่อง EDXRF ที่มีความละเอียดสูง ถูกออกแบบให้ประสิทธิภาพในการวัดถูกต้องและแม่นยำสูงมาก โดยสามารถลดแบคกราวน์ที่รบกวนการวัดธาตุได้
เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการกระตุ้นสัญญาณของหลอด X-ray ขนาด 100 KV ให้ดียิ่งขึ้น เครื่องรุ่น Epsilon 5 นี้ เหมาะกับการวัดธาตุปริมาณน้อยๆ ในระดับ ppm ได้ดี ตั้งแต่ธาตุ เหล็ก Fe ไปจนถึง ยูเรเนี่ยม U